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⮱ 高精度の耦合YZ平台，。可在Y和Z反向运动长行程

⮱ - Y轴行程最大可至200mm

⮱ - Z轴行程最大可至50mm

⮱ - 低运动负载(Z轴定子不会随着运动而成为移动负载)

⮱ - Y和Z方向の超高加速度