⮱ 高精度の耦合YZ平台,。可在Y和Z反向运动长行程
⮱ - Y轴行程最大可至200mm
⮱ - Z轴行程最大可至50mm
⮱ - 低运动负载(Z轴定子不会随着运动而成为移动负载)
⮱ - Y和Z方向の超高加速度